參考周期：常規(guī)試驗7-15工作日，加急試驗5個工作日。

注意：因業(yè)務調(diào)整,暫不接受個人委托測試,望諒解(高校、研究所等性質(zhì)的個人除外)。

檢測項目

1.電離效率：測量單位電場強度下的離子產(chǎn)率（單位：ions/(Vm)）
2.離子遷移率：測定帶電粒子在電場中的平均移動速度（單位：cm/(Vs)）
3.電離閾值電壓：確定氣體開始產(chǎn)生穩(wěn)定放電的最低電壓（范圍：0.5-30kV）
4.離子濃度分布：分析空間電荷密度梯度（分辨率：110ions/cm）
5.氣體純度影響系數(shù)：評估雜質(zhì)含量對電離特性的干擾度（精度：0.05ppm）

檢測范圍

1.半導體制造用惰性氣體（氬氣/氪氣/氟化氪混合氣）
2.高壓開關(guān)設備絕緣介質(zhì)（六氟化硫/SF?-N?混合氣）
3.醫(yī)療滅菌設備電離室工作氣體
4.環(huán)境監(jiān)測用痕量有害氣體（VOCs/臭氧/氮氧化物）
5.航天器推進劑電離特性評估

檢測方法

1.ASTMF1394-92(2020)：半導體制造用氣體純度電離分析法
2.ISO19238:2014核設施放射性氣體電離監(jiān)測規(guī)程
3.GB/T12022-2018工業(yè)六氟化硫技術(shù)條件（含電離特性測試）
4.IEC62271-203:2011高壓開關(guān)設備氣體絕緣介質(zhì)測試標準
5.JJG1068-2011電離真空計檢定規(guī)程

檢測設備

1.ThermoScientificTSQ9000三重四極桿質(zhì)譜儀（痕量氣體分析）
2.Agilent8890氣相色譜系統(tǒng)（純度檢測精度0.01ppm）
3.KeysightB1505A高壓分析儀（電壓范圍0-50kV）
4.MKS925B型電離真空計（測量范圍110??~1Torr）
5.HidenHPR-60分子束質(zhì)譜儀（離子遷移率分析）
6.BrukerEM27/ION高分辨離子淌度譜儀
7.ShimadzuGC-2030ATF電子捕獲檢測系統(tǒng)
8.PfeifferVacuumQMG700四極桿質(zhì)譜儀
9.Fluke8588A參考級萬用表（pA級電流測量）
10.TektronixPA3000高壓差分探頭（帶寬

北京中科光析科學技術(shù)研究所【簡稱：中析研究所】

報告：可出具第三方檢測報告(電子版/紙質(zhì)版)。

檢測周期：7~15工作日，可加急。

資質(zhì)：旗下實驗室可出具CMA/CNAS資質(zhì)報告。

標準測試：嚴格按國標/行標/企標/國際標準檢測。

非標測試：支持定制化試驗方案。

售后：報告終身可查，工程師1v1服務。

中析儀器 資質(zhì)